Александр Палий, Александр Саенко, Юлия Клунникова, Сергей Малюков — Лазеры в микро- и наноэлектронике

Загрузка...

Автор: Александр Викторович Палий, Александр Викторович Саенко, Сергей Павлович Малюков, Юлия Владимировна Клунникова

Год выхода: 2018

Издательство: ФГАОУВО "Южный Федеральный Университет"

ISBN:

978-5-9275-3083-0

Книга из раздела: Техническая литература, Учебная литература, Книги

О книге

«Александр Палий, Александр Саенко, Юлия Клунникова, Сергей Малюков — Лазеры в микро- и наноэлектронике»

Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности.

Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств» а также для специалистов в области лазерных технологий.