Александр Величко, Борис Кольцов — Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии

Загрузка...

Автор: Александр Андреевич Величко, Борис Борисович Кольцов

Год выхода: 2012

Издательство: НГТУ

ISBN:

978-5-7782-1924-3

Книга из раздела: Учебная литература, Книги

О книге

«Александр Величко, Борис Кольцов — Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии»

Дано краткое описание способа измерения ширины запрещенной зоны и толщины гетероэпитаксиальных узкозонных полупроводников методом определения спектральных зависимостей коэффициентов поглощения и отражения на ИК Фурье-спектрометре. В работе кратко изложена теория механизмов поглощения и отражения в полупроводниках. Дано описание ИК Фурьеспектрометра Nicolet 6700, изложена методика проведения эксперимента и обработки экспериментальных данных. Приведены контрольные вопросы и список рекомендованной литературы.