Александр Величко, Нина Филимонова — Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2

Загрузка...

Автор: Александр Андреевич Величко, Нина Ивановна Филимонова

Год выхода: 2014

Издательство: НГТУ

ISBN:

978-5-7782-2534-3

Книга из раздела: Учебная литература, Книги

О книге

«Александр Величко, Нина Филимонова — Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2»

Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».