Игорь Житяев, Александр Светличный — Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников [...]
