Игорь Житяев, Александр Светличный — Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Загрузка...

Автор: Александр Михайлович Светличный, Игорь Леонидович Житяев

Издательство: ФГАОУВО "Южный Федеральный Университет"

ISBN:

9785927523955

Книга из раздела: Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Игорь Житяев, Александр Светличный — Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии»

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.

Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».