Владислав Васильев – Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. [...]