А. Каменихин, А. Базиненков – Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Загрузка...

Автор: А. М. Базиненков, А. Т. Каменихин

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

ISBN:

978-5-7038-4675-9

Книга из раздела: Книги, Литерат.

О книге

«А. Каменихин, А. Базиненков – Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды»

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника» «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.