Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника» «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.
Библиотека электронных книг "Семь Книг" - admin@7books.ru
Оставить комментарий