Анатолий Достанко – Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Загрузка...

Автор: Анатолий Павлович Достанко, Олег Алексеевич Агиев, Сергей Мирзоевич Аваков

Год выхода: 2016

Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”

ISBN:

978-985-08-1993-2

Книга из раздела: Техническая литература, Учебная литература, Книги

О книге

«Анатолий Достанко – Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники»

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур.

Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.