Альфред Чернышев — Введение в физику твердого тела и нанофизику. Специальный курс физики. Конспект лекций
В настоящее время идет быстрое развитие элементной базы микроэлектроники. Элементная база изменяется на всех уровнях характерных размеров: от нанометровых элементов микроэлектроники, [...]