Александр Игнатов, Наталья Фадеева, Александр Величко, Нина Филимонова, Ирина Гришина — Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды [...]