Михаил Королев — Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и [...]