Павел Маринушкин, Алексей Левицкий – Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем
Рассмотрены принципы работы компонентов радиочастотных микроэлектромеханических систем и описаны примеры использования современных технологий их моделирования с использованием [...]
