А. Кондрашин, А. Лямин, В. Слепцов – Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств
С развитием высоких технологий производства электронных устройств становится реальным выпуск трехмерных электронных устройств (ТЭУ), в том числе субмикронных монолитных схем. На основе [...]