Максим Силибин – Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие
В первой части учебного пособия рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического [...]