Владислав Юрьевич Васильев

Владислав Васильев — Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и [...]

Владислав Васильев — Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. [...]

Владислав Васильев — Современное производство изделий микроэлектроники

В учебном пособии рассмотрена совокупность вопросов, связанных с организацией современной микроэлектронной отрасли и производства интегральных микросхем (ИМС). Основной стремительного [...]

Владислав Васильев — Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL). [...]