Ю. Родионов — Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим [...]
