Юрий Цветков, Ю. Боброва – Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления [...]
