Борис Кольцов, Нина Филимонова – Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия

Загрузка...

Автор: Борис Борисович Кольцов, Нина Ивановна Филимонова

Год выхода: 2013

Издательство: НГТУ

ISBN:

978-5-7782-2158-1

Книга из раздела: Учебная литература, Книги

О книге

«Борис Кольцов, Нина Филимонова – Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия»

Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».