Дмитрий Остертак — Микроэлектромеханика

Загрузка...

Автор: Дмитрий Иванович Остертак

Год выхода: 2016

Издательство: НГТУ

ISBN:

978-5-7782-2901-3

Книга из раздела: Учебная литература, Книги

О книге

«Дмитрий Остертак — Микроэлектромеханика»

Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.