Евгений Бодров — Основы технологии электронной компонентной базы

Загрузка...

Автор: Евгений Эдуардович Бодров

Издательство: Инфра-Инженерия

ISBN:

978-5-9729-0846-2

Книга из раздела: Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Евгений Бодров — Основы технологии электронной компонентной базы»

Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».