Лев Сейдман, Евгений Берлин – Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению [...]