Коллектив авторов – Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах

Загрузка...

Автор: Коллектив авторов

Год выхода: 2011

Издательство: ФГУП «Издательство СО РАН»

ISBN:

978-5-7692-0669-6, 978-5-7692-1183-6

Книга из раздела: Физика, Книги, Прочая образовательная литература

О книге

«Коллектив авторов – Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах»

Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики AlO, HfO, TaO, ZrO, TiO, твердые растворы (HfO)(AlO). Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO, оксинитрида SiON и нитрида SiN кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.