Коллектив авторов – Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Загрузка...

Автор: Коллектив авторов

Год выхода: 2018

Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”

ISBN:

978-985-08-2298-7

Книга из раздела: Техническая литература, Учебная литература, Книги

О книге

«Коллектив авторов – Технологии субмикронных структур микроэлектроники»

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.

Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.