Леонид Милешко, Николай Гапоненко – Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления

Загрузка...

Автор: Леонид Петрович Милешко, Николай Васильевич Гапоненко

Издательство: ФГАОУВО "Южный Федеральный Университет"

ISBN:

978-5-9275-3182-0

Книга из раздела: Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Леонид Милешко, Николай Гапоненко – Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления»

Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность» «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I).