Валерий Михайлов, А. Базиненков, Е. Деулин – Расчет вакуумных систем технологического оборудования

Загрузка...

Автор: А. М. Базиненков, Валерий Павлович Михайлов, Е. А. Деулин

Год выхода: 2022

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

ISBN:

978-5-7038-5813-4

Книга из раздела: Книги, Литерат.

О книге

«Валерий Михайлов, А. Базиненков, Е. Деулин – Расчет вакуумных систем технологического оборудования»

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».