Валерий Михайлов, А. Базиненков – Механизмы прецизионных перемещений

Загрузка...

Автор: А. М. Базиненков, Валерий Павлович Михайлов

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

ISBN:

978-5-7038-5529-4

Книга из раздела: Книги, Литерат.

О книге

«Валерий Михайлов, А. Базиненков – Механизмы прецизионных перемещений»

Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.

Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».