Владислав Васильев – Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Загрузка...

Автор: Владислав Юрьевич Васильев

Год выхода: 2022

Издательство: НГТУ

ISBN:

978-5-7782-4726-0

Книга из раздела: Техническая литература, Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Владислав Васильев – Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем»

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем.

Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи» технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.