Юрий Цветков, Ю. Боброва – Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Загрузка...

Автор: Ю. С. Боброва, Юрий Борисович Цветков

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

ISBN:

978-5-7038-5369-6

Книга из раздела: Книги, Литерат.

О книге

«Юрий Цветков, Ю. Боброва – Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум»

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.

Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники» «Процессы и оборудование микротехнологии».