Юрий Колковский, Юлий Концевой, Вадим Груздов – Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)

Загрузка...

Автор: Вадим Владимирович Груздов, Юлий Абрамович Концевой, Юрий Владимирович Колковский

Год выхода: 2017

Издательство: Техносфера

ISBN:

978-5-94836-471-1

Книга из раздела: Педагогика, Техническая литература, Учебная литература, Книги, Литерат., Прочая образовательная литература

О книге

«Юрий Колковский, Юлий Концевой, Вадим Груздов – Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы)»

Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники».

В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники.

Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.