Юрий Родионов – Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Загрузка...

Автор: Юрий Родионов

Год выхода: 2019

Издательство: Инфра-Инженерия

ISBN:

978-5-9729-0337-5

Книга из раздела: Техническая литература, Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Юрий Родионов – Технологические процессы в микро- и наноэлектронике»

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи» а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.