Игорь Леонидович Житяев

Игорь Житяев, Александр Светличный – Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения

В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников [...]

Игорь Житяев, Александр Светличный – Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и [...]
Яндекс.Метрика