Игорь Житяев, Александр Светличный – Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения

Загрузка...

Автор: Александр Михайлович Светличный, Игорь Леонидович Житяев

Издательство: ФГАОУВО "Южный Федеральный Университет"

ISBN:

978-5-9275-3097-7

Книга из раздела: Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Игорь Житяев, Александр Светличный – Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения»

В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей.

Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».