Михаил Королев — Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Загрузка...

Автор: Марина Алексеевна Ревелева, Михаил Александрович Королев, Татьяна Юрьевна Крупкина

Год выхода: 2012

Издательство: Лаборатория знаний

ISBN:

978-5-9963-2904-5

Книга из раздела: Техническая литература, Книги

О книге

«Михаил Королев — Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1»

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.