Михаил Королев – Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Пожалуйста оцените книгу: УжасноПлохоНормальноХорошоОтлично
Загрузка...
Автор: , ,
Год выхода:
Издательство:
ISBN:
978-5-9963-2904-5
Книга из раздела: Техническая литература, Книги
 

О книге
«Михаил Королев – Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1»

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Оставить комментарий

Your email address will not be published.


*


Яндекс.Метрика