Р. Акчурин, А. Мармалюк – МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

Загрузка...

Автор: А. Мармалюк, Р. Акчурин

Год выхода: 2018

Издательство: Техносфера

ISBN:

978-5-94836-521-3

Книга из раздела: Техническая литература, Книги, Литерат., Прочая образовательная литература

О книге

«Р. Акчурин, А. Мармалюк – МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники»

В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов.

Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники.

Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.