Ю. Родионов – Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Загрузка...

Автор: Ю. А. Родионов

Издательство: Издательство ЛАНЬ

ISBN:

978-5-8114-5788-5

Книга из раздела: Учебная литература, Книги, Литерат.

О книге

«Ю. Родионов – Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем»

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника» «Конструирование и технология электронных средств».